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產品詳情
簡單介紹：
INFICON高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內的壓力。HPG400 型真空計為精準的濺射過程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。
詳情介紹：
HPG400 大氣壓至高真空真空計
INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中，可測量 2×10-6 毫巴至大氣壓（1.5×10-6 托至大氣壓）范圍內的壓力。 HPG400 型真空計為精準的濺射過程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。
益處
- HPG400 可節省成本和工具空間，降低真空系統安裝與設置的復雜性
- 高壓熱電離真空計可以準確可靠地測量 1×10-5 … 1 毫巴范圍內的壓力，進而改善過程控制
- 用戶可選的熱離子發射在 5×10-2 至 1 毫巴之間啟動
- 皮拉尼聯鎖保護熱絲，防止過早燒毀
- 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
- 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
- RoHS 合規
典型應用
- 半導體制造、電子和媒介產業中的濺射應用
- 低真空和高真空范圍內的一般真空測量和控制
