INFICON Augent^TM光學(xué)等離子體測(cè)量?jī)x是一種緊湊的智能真空監(jiān)測(cè)解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個(gè)緊湊的設(shè)備中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監(jiān)測(cè)，并同時(shí)測(cè)量 1 x ^10-7mbar 到大氣壓的總壓力。Augent^TM由集成的皮拉尼傳感器保護(hù)，可關(guān)閉 20 mbar 以上的等離子體。快速光學(xué)測(cè)量原理原則上可以檢測(cè)任何類型的氣體。

好處 

1，高速泄漏檢測(cè)允許腔室泄漏測(cè)試

2， 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量 

3，使用壽命長(zhǎng)，無(wú)燈絲**，氣涌保護(hù) 

4，承受工藝化學(xué)反應(yīng) 

5，智能算法，易于集成 

6，設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小 

7，可靠且快速的啟動(dòng) 

典型應(yīng)用

1，腔室泄漏檢查，更快的RoR（上升速率）測(cè)試 

2，泄漏檢查以查找供氣管線的內(nèi)部泄漏 

3，實(shí)時(shí)終點(diǎn)控制 

4，氣體類型和濃度控制