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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
MAGiNTEGRA可靠耐用，能夠承受工藝中產(chǎn)生的顆粒和沉積物。它可以承受生產(chǎn)過(guò)程中引起的大氣流沖擊，可以在任意位置以任意角度安裝。整體外形對(duì)稱設(shè)計(jì)，與變頻器合為一體，且變頻器的安裝位置靈活，節(jié)約了安裝空間。由于使用了五軸定位磁懸浮軸承，TURBOVACMAGiNTEGRA幾乎免維護(hù)，同時(shí)無(wú)碳?xì)浠衔镂廴镜娘L(fēng)險(xiǎn)，極其適合脂潤(rùn)滑機(jī)械軸承分子泵不適用的對(duì)碳?xì)浠衔镂廴居袊?yán)格要求的真空應(yīng)用。MAGiNTEGRA的另一個(gè)顯著優(yōu)點(diǎn)是在運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)極小，這對(duì)于某些應(yīng)用是非常重要的。
詳情介紹：
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新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C／CT，MAG2000C／CT，MAG2200C／CT，MAG 2800C／CT，MAG 3200C／CT
抽速：1500l／s～3200l／s
●五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
●轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá)120℃?！?nbsp;
●轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶磚利技術(shù)的 KAPLAR 涂層
●較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
●降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命；
●葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
●保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長(zhǎng)（＞600次），無(wú)需更換保護(hù)軸承。
●高真空端連接采用ISO-F，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安 全。
●智能化電源，無(wú)需UPS?！?nbsp;
●帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在2mbar以上。
●分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
●超先進(jìn)的數(shù)字控制技術(shù)
●運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
●運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá)180條運(yùn)行信息；
●磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
●轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
●在氣流長(zhǎng)時(shí)間（2分鐘以上）過(guò)大，而使泵負(fù)載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平?！?nbsp;
●控制器與泵無(wú)識(shí)別性，可互換?！?nbsp;
●免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
●所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
●科研領(lǐng)域
●鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M，MAG400和MAG1000。
TURBOVAC (T) 350-450 i采用革新的模塊化設(shè)計(jì)理念，可以根據(jù)對(duì)壓強(qiáng)和氣載量的要求來(lái)優(yōu)化產(chǎn)品性能，極大限度地滿足客戶的需求。
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