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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實(shí)時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃，從而延長工具運(yùn)行時間。
詳情介紹：
Transpector XPR3 氣體分析系統(tǒng)
無需復(fù)雜壓力轉(zhuǎn)換的 PVD 過程監(jiān)控
Transpector XPR3 提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實(shí)時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題，從而zui大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃，從而延長工具運(yùn)行時間。
Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng)，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗(yàn)，具有非常好的的靈敏度、準(zhǔn)確性和靈活性，可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破，無需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。
功能
- 經(jīng)過重新設(shè)計(jì)的離子源zui大限度減少污染積存，可延長使用壽命，提供更純凈的信號。
- 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實(shí)現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數(shù)據(jù)分析。
- 更長的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強(qiáng)了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。
典型應(yīng)用
- PVD 過程模塊
- 預(yù)清洗模塊
- 非群集 PVD 工具
- 夾鉗式除氣模塊
